第(2/3)页 会议室里安静了几秒。 --- 宋岳把材料从头到尾扫了一遍,放下,没有马上开口。 先出声的是他右手边一个女研究员,齐耳短发,下巴收的很紧。 “委员会名单谁来定?” “你们自己定。” “行政层有没有观察员席位?” “没有。” 女研究员把这两个字说的很重,转头看了宋岳一眼。 宋岳手指轻轻敲了下桌沿,继续看着陈平放。 “你说行政不干预技术方向。” “那如果我们的研究结论,和地方政府的产业规划冲突呢?” 陈平放把手搭上桌沿,说的很稳。 “让规划让路。” “芯火二期的核心是光刻工序,你们的东西是整条制造链上很难被替代的那一段。地方产业规划,没有资格对你们的研究方向说三道四。” 宋岳盯着他,停了整整五秒,把旁边另一叠文件拿过来,搁在桌上,没解释是什么。 陈平放扫了眼封面,是国内某研究院的项目公示,盖着三枚章。 宋岳翻开,指着里面一页数据。 “这是你们国内去年的光刻胶测试报告,浸没式工艺,193纳米,良率百分之七十一。” 他把手指往下移了一截。 “我们手上的配方,浸没式良率可以做到九十二以上。” “但EUV的问题,你们还没解决。” 会议室里的几个人都看向陈平放。 EUV极紫外光刻,是最先进制程绕不过去的一道坎。宋岳把文件合上,两只手压在封面上,等着他给一个解释。 --- 陈平放没着急。 他把公文包侧兜拉开,取出一个密封的U盘,搁在桌上往宋岳面前推过去。 “这是国内最新一批EUV光源测试数据,还没有公开发布。” “你看完,再来跟我谈浸没式的问题。” 宋岳没马上接,先打量了U盘一眼,再抬头看陈平放,两秒后把U盘捏在手里,转头递给那个女研究员。 女研究员插进笔记本,页面弹出来,是一组密密麻麻的参数图表,有峰值曲线,波长校准,稳定性测试,另外还有一份完整的阶段报告。 会议室里几个人的注意力全都集中了过来。 宋岳站起来,走到女研究员旁边,低头翻了两页,停在第三页,手指在屏幕上比了一串数字。 第(2/3)页