第(2/3)页 这个学生准确的抓住了“无掩模”和“去透镜化”这两个降本增效的关键点。 张默在心里快速估算了一下。 如果按照这个学生简化的思路,去搭建一个用于特定制程的中试线。 省去了千万级的投影物镜,省去了百万级的掩模版套组。 “高相干稳频光源成本虽然会提升 2倍左右,但整体 BOM成本……至少能下降 40%!” 他自己都有些惊疑不定了。 “真的假的?” 他快速抽出一张 A4纸,飞快的验算起来。 ΔCost≈ Cost_Laser_Stable -(Cost_Projection_Lens + Cost_Mask_Set) 他在纸上画出了几个简易的模块图,嘴里念念有词。 “如果用他在题里提到的‘分光棱镜’做相干分光,配合平面反射镜做光路折叠,机台的体积还能再缩小……” 如果按照这个学生简化的思路去搭建实验台,成本比他们现在用的那套设备,起码还要低 10%~15%。 “不行,得让组里的人先做个模拟!顺着这个高中物理的思路,看看能不能把那个该死的‘相位锁定模块’给简化掉!” 张默此时已经顾不上什么阅卷纪律了,他拿着试卷起身就向外走去。 旁边的教授诧异道。 “张工,你去哪?卷子还没改完呢。” 张默就像没听见一样,嗯,他确实是没听见,现在他满脑子都是降低成本。 留下几个阅卷老师面面相觑。 “怎么了这是?” “不知道啊……” 大家议论了下也就继续批改手中的试卷了,谁还没有个改卷改到奔溃的时候呢。 这时,另一个教授拿起一张试卷。 “哎,我这边有一张不错的,用了相移掩模技术,虽然有点堆砌理论,但对于高中生来说,能懂这个已经很不容易了。” 这张试卷在几个老师之间传阅了一圈。 几位工程师看了一眼,点了点头。 “嗯,理论基础扎实,给个满分吧。” 但也仅此而已了。 这种答案,也就是个优秀的好学生水平,离他们想要的、能给工程落地带来新思路的人才,还差得远。 …… 走廊外。 张默第一时间撕开了这份卷子侧面的密封条。 【考号:SC-2022-001】 【学校:江城市第七中学】 【姓名:李东】 “江城七中?李东?” 张默念叨着这个名字。 他拿出手机,将实验题的部分拍了下来,然后加上了公司的加密水印。 随后写下了一段评语。 【考生(考号 SC-2022-001)提出的“双光束干涉无掩模方案”,与我组目前的攻坚方向一致。 他利用高中简谐波叠加原理,完整推导了干涉光刻的分辨率公式,明确了大入射角斜入射的优化路径,同时清晰标注了方案的适用场景与工程边界。 他提出的简化光路思路,我们之前一直忽略了,我已初步核算,按照此思路搭建实验台,整体成本预计可降低 15%-20%。 建议我组立即按照此思路进行光学模拟验算!】 点击,发送。 收件人:华轩科技光刻研发中心总监——林伟。 与此同时,江城高铁站。 李东和郑华拖着行李箱。 第(2/3)页